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        工業激光器

        激光切割、鉆孔、打標、剝離、消融、退火

        產品

        GENIUS系列紫外皮秒激光器

        特征參數:

        ● 150-350mW@355nm
        ● 80MHz重復頻率 / 12ps脈寬
        ● 高光束質量M2<1.3
        ● 緊湊、密封、堅固的工業級操作平臺確保了良好的光束性能和長期的功率穩定性。

        應用:

        ● 半導體晶圓檢查
        ● 細胞篩選
        ● 微加工
        ● 微型立體光刻

        GENIUS系列紫外皮秒激光器

        • 商品圖尺寸

          Product size diagram
        • 規格參數

          Specification parameter
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        • 1111.jpg

        • 光束特性



          項目

          GENIUS-150

          GENIUS-350

          波長(nm)

          355nm

          功率

          150mW

          350mW

          重復頻率1(MHz)

          80MHz±1MHz

          脈寬2(ps)

          <12ps

          光束質量

          TEM00(M2<1.3)

          平均功率穩定性3(RMS)

          <2%

          偏振度

          >100:1 水平

          光斑圓度(%)

          >85%

          光束指向性4(μrad/℃)

          <20μrad/℃

          光斑尺寸5(mm)

          ~1mm

          一般特性


          電源輸入

          220 VAC ±5% 50-60Hz

          能量損耗

          <1kW

          冷卻方式

          閉路循環水冷

          工作條件

          溫度 15-35℃  濕度 <65%

          加熱時間(min)

          <40min

          GENIUS 圖片1.jpg        GENIUS 圖片2.jpg

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